מכונות ליטוגרפיה של EUV הן ציוד מכריע בייצור השבבים המודרני, ואחת ממערכות המשנה הליבה שלהן היא הלייזר - מקור האור של פלזמה (LPP). בעבר, השוק העולמי למקור זה הסתמך בעיקר על לייזרי CO2 המיוצרים על ידי Cymer, חברה אמריקאית. לייזרים אלה מרגשים פלזמות SN עם יעילות המרת אנרגיה (CE) העולה על 5%ומשמשים כמקור האור המניע למכונות ליטוגרפיה של ASML. ASML היא כיום יצרנית מכונות הליטוגרפיה היחידה בעולם המסוגלת להשתמש במקורות אור EUV, תוך שמירה על נתח שוק של 100% בתחום זה. עם זאת, בשל בקרות יצוא שהוטלו על ידי משרד המסחר האמריקני על סין, ASML וחברות שבבים אחרות נאסר על מכירת חיתוך - דגמי ליטוגרפיה של EUV EDV לסין מאז 2019, מה שמפריע מאוד לפיתוח ענף השבבים של סין.
אבל החוקרים הסינים לא הושגו. לאחר שנים של עבודה קשה, הצוות של לין נאן חלוץ בגישה חדשה, תוך שימוש בלייזרים פועמים של מדינת- פועמים במקום לייזרים CO2 כמקור האור המניע. נכון לעכשיו, לייזר המדינה 1 מיקרומטר - של הצוות השיג יעילות המרה מקסימאלית של 3.42%. למרות שעדיין לא עולה על 4%, זה עולה על הביצועים של צוותי המחקר בהולנד ובשוויץ והיא מחצית מיעילות ההמרה של 5.5% של מקורות אור מסחריים. החוקרים מעריכים כי יעילות ההמרה המרבית התיאורטית של פלטפורמת הניסוי של מקור האור עשויה לגשת ל 6%, עם פוטנציאל לשיפור נוסף בעתיד. תוצאות המחקר הרלוונטיות פורסמו לאחרונה על שער הגיליון 2025 של מגזין לייזר סין, גיליון 6 (בסוף מרץ).
לין נאן, המחבר המקביל של מאמר זה, מספק תמיכה חזקה בהישג זה עם הרקע והמומחיות המחקרי שלו. כיום הוא חוקר ומפקח דוקטורט במכון שנגחאי לאופטיקה ומכניקה מדויקת, האקדמיה הסינית למדעים, כשרון לאומי בחו"ל {}}}, סגן מנהל מעבדה המפתח הלאומית של מעגל מפתח לאומי של המחלקה האולטרה (2}} מדעי הלייזר האינטנסיביים, ומכונים טכנולוגיים של המחלקה המועמדת, המחלקה המועמדת, המחלקה, הוועדה של מיקרו - ננו של החברה הסינית להנדסה אופטית. לין נאן עבד בעבר כמדען מחקר ואז כראש טכנולוגיית מקור האור במחלקת המו"פ ב- ASML בהולנד. יש לו ניסיון של למעלה מעשור במחקר, פיתוח פרויקטים הנדסיים וניהול של ציוד ייצור ומדידה משולב של מעגלים משולבים {}} גדולים. הוא הגיש בקשה ליותר מ -110 פטנטים בינלאומיים בארצות הברית, יפן, דרום קוריאה ומדינות אחרות, שרבות מהן הוסחרו ושולבו במכונות הליטוגרפיה האחרונות ובציוד המטרולוגיה. הוא סיים את לימודיו באוניברסיטת לונד בשבדיה, שם למד תחת 2023 זוכה פרס נובל בפיזיקה אן ל'וילייר. הוא גם קיבל תואר דוקטור משותף מפריז - אוניברסיטת סאקליי ומסוכנות האנרגיה האטומית הצרפתית, וערך מחקר פוסט -דוקטורט ב- ETH ציריך בשוויץ.
בפברואר השנה פרסם הצוות של לין נאן מאמר כיסוי בגיליון השלישי של כתב העת "התקדמות בלייזרים ואופטואלקטרוניקה", והציע תכנית ייצור יעילה של אור אולטרה סגול קיצוני של פס רחב המבוסס על פח לייזר מרחבי, אשר ניתן להשתמש בהן עבור- מידה של מדידת צומת סמיקונדיטורים מתקדמים. התוכנית השיגה יעילות המרה של עד 52.5%, שהיא יעילות ההמרה הגבוהה ביותר המדווחת בפס האולטרה סגול הקיצוני עד כה. בהשוואה למקור האור ההרמוני הגבוה המסחרי כיום -.
הפלטפורמה המבוססת על פלטפורמה מבוססת - State - שפותחה על ידי הצוות של לין נאן נבדלת מהטכנולוגיה המונעת CO2 {}} המשמשת בציוד הליטוגרפיה התעשייתית של ASML. העיתון קובע, "אפילו ביעילות המרה של 3%בלבד, מוצק - לייזר מצב - LPP - מקורות EUV יכולים לספק כוח רמה של וואט-, מה שהופך אותם למתאימים לאימות חשיפה של EUV ובדיקת מסירה." לעומת זאת, לייזרי CO2 מסחריים, בעוד שהספק גבוה -, הם מגושמים, הם בעלי אלקטרו נמוך {}}} יעילות המרה אופטית (פחות מ- 5%), ועלויות הפעלה והספק גבוהות. מצד שני מוצקים - לייזרים פועמים, לעומת זאת, התקדמו במהירות בעשור האחרון, והגיעו כיום לתפוקות כוח ברמת קילוואט וצפויים להגיע יותר מעשר פעמים מזה בעתיד.
אף על פי שמחקרים על לייזר ממוצק - לייזר מדינה - מקורות EUV מונעים בפלזמה נמצא עדיין בשלבים הניסויים המוקדמים ועדיין לא הגיע למסחור מלא, תוצאות המחקר של לין נאן סיפקו תמיכה טכנית חשובה למקורות ביתיים ומוצא למקורות של לייזר {}. רחוק - להגיע למשמעות למחקר ופיתוח עצמאיים של סין של ליטוגרפיה של EUV ולמרכיבי המפתח והטכנולוגיות שלה.
במהלך שיחת ועידת משקיעים החודש, סמנכ"ל הכספים של ASML רוג'ר דאסן הצהיר כי הוא היה מודע להתקדמותה של סין בטכנולוגיית החלפת ליטוגרפיה והודה כי לסין יש פוטנציאל לייצר מקורות אור של EUV. עם זאת, הוא עדיין האמין שייקח סין הרבה שנים לייצר ציוד ליטוגרפיה מתקדם של EUV. עם זאת, המאמצים הבלתי פוסקים ופריצות הדרך המתמשכות של חוקרים סינים שוברים בהדרגה את הציפייה הזו. בשנת 2024, ASML השיגה מכירות נטו של 28.263 מיליארד יורו, שנה - ב - עלייה של 2.55%, הגדרת רשומה חדשה. סין הפכה לשוק הגדול ביותר שלה, עם מכירות של 10.195 מיליארד אירו, המהווים 36.1% מהכנסותיה הגלובליות. אפילו בהקשר של בקרות ותעריפי ייצוא מוליכים למחצה מוליכים למחצה, ASML צופה כי המכירות בסין יגדילו מעט יותר מ- 25% מכלל הכנסותיה בשנת 2025. עליית ענף השבבים של סין אינה ניתנת לעצירה.
