מערכת ניקוי לייזר לניקוי כלי PVD, יכול להסיר ביעילות ציפוי רב שכבתיים, ללא נזק מכני, ללא נזק לרתך או משטח איטום, להפחית את זמן מחזור חימום, לא ריאגנטים סביבתיים וכימיים, לא מזהמים משניים אין צורך לנקות, התגובה הכללית ניקוי החדר ניתן להשלים רק כמה שעות.
טכנולוגיית ניקוי לייזר יכולה אפילו להסיר את הקשים ביותר לנקות את הפיקדונות בשלב אדים, כולל ציפויי פחמן דמויי יהלום וציפויים עמידים אחרים ללבוש. כוחם של לייזרים ארוזות מאדה את "ציפויי כדורים". בסופו של דבר, דיוק מצעים מתכת ניתן לנקות בבטחה וללא נזק, ולא שאריות מיוצר. תא פלזמה ניתן באופן ידני או חצי אוטומטי חשוף יעיל לייזר דה ציפוי בזמן ניקוי.
PVD בתצהיר אדי פיזי מתייחס לתהליך של העברת חומר או מולקולה ממקור אל משטח של המצע על ידי תהליך פיזי. הפונקציה שלה היא להפוך חלקיקים עם תכונות מיוחדות (חוזק גבוה, התנגדות ללבוש, פיזור חום, עמידות בפני קורוזיה, וכו ') לרסס על הגוף ביצועים נמוכים יותר, כך הגוף האם יש ביצועים טובים יותר. בתהליך זה, לעומת זאת, את שכבת לכה ריסוס לא רק שומרת על פני המטרה, אלא גם משתלב עם משטחים של כלים ואביזרי המשמשים להחזיק את החלקים בתוך החדר התגובה. מערכת ניקוי לייזר יכול למעשה לנקות את פני השטח של כלי PVD, הימנעות ההשפעות השליליות של חומרי ציפוי PVD מוגזמת, כגון הפחתת הסובלנות של לחומר, איטום עניים של החדר התגובה, וכתוצאה מכך לחות מוגברת וזמן חימום ממושך.
