לייזר מאופיין בכיוון גבוה, מונוכרומטיות, קוהרנטיות גבוהה ובהירות גבוהה. באמצעות צבירת העדשות ומתג Q, ניתן לאסוף את האנרגיה לטווח זמן קטן מאוד. בתהליך ניקוי הלייזר משתמשים בעיקר במאפיינים הבאים של לייזר:
1. לייזר יכול להשלים את ריכוז האנרגיה הגבוה בזמן ובמרחב. קרן הלייזר המרוכזת יכולה לייצר טמפרטורה גבוהה של אלפי מעלות או אפילו עשרות אלפי מעלות בסביבת המוקד, מה שגורם לאבק להתאדות, להתאדות או להתפרק באופן מיידי.
2. זווית ההפרדה של קרן הלייזר קטנה והכיוון טוב. בתנאי אותה אנרגיית לייזר, ניתן לכוונן את צפיפות האנרגיה של הלייזר על ידי שליטה על נקודת קרן הלייזר בקטרים שונים, כך שהאבק והלכלוך יתנפחו בעת חימום. כאשר כוח התפשטות האבק גדול מכוח הספיחה של האבק על המצע, האבק יעזוב את פני האובייקט.
3. קרן הלייזר יכולה לייצר גל קולי ותהודה מכנית על פני המוצק, כך שהאבק יכול להישבר ולהפיל. טכנולוגיית ניקוי לייזר משתמשת במאפייני הלייזר ואז מגיעה לכוונת הניקוי. על פי המאפיינים האופטיים של המצע הניקוי והאבק הניקוי, ניתן לחלק את מנגנון ניקוי הלייזר לשתי קטגוריות: האחת היא שמקדם הספיגה של אנרגיית הלייזר באורך גל מסוים באמצעות מצע הניקוי (המכונה גם האם ) וההתקשרות החיצונית (לכלוך) שונה מאוד. מרבית אנרגיית הלייזר המוקרנת אל פני השטח נספגת על ידי הצמדת השטח, ואז מחוממת או מתאדה, או מתרחבת באופן מיידי, ומונעת על ידי זרימת האוויר שנוצרה, משאירה את פני האובייקט ומגיעה לכוונת הניקוי. עם זאת, המצע לא יינזק בגלל אנרגיית ספיגת הלייזר הקטנה מאוד באורך גל זה. לניקוי לייזר מסוג זה, בחרו באורך הגל המתאים ובקרה על גודל אנרגיית הלייזר היא המפתח לניקוי בטוח ויעיל. השני מתאים לניקוי המצע ומשטח ההצמדה של מקדם ספיגת אנרגיית הלייזר אינו שונה, או שהמצע רגיש יותר לאדי החומצה הנוצרים על ידי חימום הציפוי, או שהציפוי ייצר חומרים רעילים לאחר החימום. סוג זה של שיטה משתמש בדרך כלל בלייזר דופק בעוצמה גבוהה ובקצב חזרה גבוה כדי לזעזע את המשטח הנקי, כך שחלק מהקרן הופך לגל קול. לאחר שגלי הקול פוגעים במשטח הקשה של שכבת הבסיס, החלק האחורי מתקשר עם גל הקול הלוקרי של הלייזר, וגל האנרגיה הגבוה מתפרץ וגורם להתפוצצות הציפוי בטווח קטן. הציפוי נלחץ לאבקה ואז מוסר על ידי משאבת הוואקום, ואילו המצע שלמטה לא יינזק.
מכונת ניקוי לייזר
ניקוי דוגמאות













