סיווג ושיטות ניקוי לייזר

על פי מאפייני חומר המצע, דיוק משטח המצע, חספוס פני השטח וסוגי מזהמי החלקיקים, ניתן לחלק את שיטות ניקוי הלייזר הנוכחיות לשתי הקטגוריות הבאות. 1) ניקוי לייזר. לייזר מקרין ישירות את פני האובייקט, מזהם את החלקיקים או סופג אנרגיה על פני השטח ואז גורם לחלקיקים לעזוב את פני השטח באמצעות דיפוזיה תרמית, פירוק תמונות וגזיזה. 2) ניקוי בלייזר. ריססו נוזל לא מזוהם (בעיקר מים, לפעמים אלכוהול) על פני החומר שיש לנקות, ואז הקרינו אותו בלייזר. לאחר ספיגת אנרגיית הלייזר, המדיום הנוזלי יפיק אידוי נפץ, וידחיק את חלקיקי הזיהום סביבו מפני השטח של החומר. בנוסף הוצעה שיטת ניקוי תרכובות הלייזר כביכול. ניקוי הלייזר נספג על ידי חומר המצע, ואז מחממים את המדיום הבינוני הספוג באמצעות הסעה תרמית, והמדיום הבינתי מייצר אידוי נפץ. מונע על ידי זרימת אוויר גבוהה, החלקיקים מופרדים משטח המצע יחד עם מדיום הביניים.